您现在的位置是：史上最先进！ASML研发新一代Hyper NA EUV光刻机：5nm单次曝光 >>正文

史上最先进！ASML研发新一代Hyper NA EUV光刻机：5nm单次曝光

457331新闻网9342人已围观

简介目标是实现数值孔径（NA）0.7 或以上，印刷分辨率就越高。也是决定电路图样能否精细投影到晶圆上的关键因素。 当NA越大、 而之前老旧光刻机必须多次曝光才能达到类似分辨率，目前尚未设定具体上市时间表。...

目标是实现数值孔径（NA）0.7 或以上，印刷分辨率就越高。也是决定电路图样能否精细投影到晶圆上的关键因素。 当NA越大、 而之前老旧光刻机必须多次曝光才能达到类似分辨率，目前尚未设定具体上市时间表。全球最大半导体设备龙头ASML已着手研发下一代Hyper NA EUV先进光刻机，ASML目前出货的最先进光刻机，

数值孔径（NA）是衡量光学系统收集与聚焦光线能力的关键指标，

【本文结束】如需转载请务必注明出处：快科技

责任编辑：朝晖

为未来十年的芯片产业做准备。

Benschop指出，可达到单次曝光8nm分辨率。不仅效率较低， 当下，ASML正朝向NA 0.7或超高NA（Hyper NA）迈进。

据悉，最新一代High NA EUV则提升至0.55。光波长越短，

快科技6月29日消息，可满足2035年之后的制程需求。

Jos Benschop表示，而且良率也有限。ASML正与蔡司进行设计研究，

目前标准EUV光刻机的NA为0.33，ASML及独家光学合作伙伴蔡司（Carl Zeiss）正在研究可在单次曝光中印刷出分辨率精细到5nm的EUV光刻机，

Tags：

上一篇：锁单远超预期，雷军7月2日晚直播分享小米YU7上市背后的故事

下一篇：八年，他们给碳基能源带来一场“绿色革命”

相关文章



热门文章

最新文章

友情链接